對于晶圓加工的各個環(huán)節(jié)而言,,清洗工藝都是必不可少的基本工序,,隨著芯片制造工藝先進(jìn)程度的持續(xù)提升,對晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高,,清洗工序也不斷向精細(xì)化發(fā)展,,而對清洗設(shè)備的需求也在相應(yīng)增加。
據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)預(yù)測,,到2025年,,中國在半導(dǎo)體行業(yè)的設(shè)備采購將達(dá)到345億美元,占全球三分之一,,其中FOUP盒清洗設(shè)備采購占有很大比例,,而目前國內(nèi)品牌在這一領(lǐng)域還幾乎處于空白狀態(tài),主要依靠美系和日系產(chǎn)品,,可以說國內(nèi)的FOUP盒清潔設(shè)備還是一片藍(lán)海,。面對巨大的機遇與挑戰(zhàn),江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司迎難而上,,開發(fā)了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的FOUP盒清潔設(shè)備,,填補了國內(nèi)行業(yè)空白,。
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FOUP清洗機是用于清洗半導(dǎo)體制造中的FOUP(Front Opening Unified Pod)的設(shè)備。FOUP是用于存放半導(dǎo)體晶圓的封閉式容器,,在半導(dǎo)體制造過程中起到了關(guān)鍵的作用,。FOUP清洗機的主要功能是清洗FOUP,確保FOUP內(nèi)部的潔凈度,,以保證半導(dǎo)體晶圓在制造過程中不受到污染,。
功能配置:管路配置:壓力檢測系統(tǒng)、流量檢測系統(tǒng),、溫度檢測系統(tǒng),、漏液檢測系統(tǒng)加熱系統(tǒng):閉環(huán)溫控、超溫切斷,、微曲線加熱算法,、宕機應(yīng)急閉環(huán)等系統(tǒng)真空與N平衡系統(tǒng):真空度檢測監(jiān)控保壓系統(tǒng)、N平配比凈化系統(tǒng)NPurge系統(tǒng):溫濕度高速檢測系統(tǒng),、平衡FOUP壓力與溫濕度算法Robot安全控制系統(tǒng):設(shè)置空間安全虛擬圍欄,、曲線算法路徑空FOUP檢測系統(tǒng):FOUP物料感知系統(tǒng)、檢測FOUP進(jìn)料狀態(tài)RFID數(shù)據(jù)系統(tǒng):FOUP實時狀態(tài)檢測湖北半自動晶圓盒清洗機維修價格芯夢設(shè)備具有靈活的生產(chǎn)模式,,滿足你的個性化需求,!
在FOUP內(nèi)去除顆粒物的方法可以采取多種措施,以下是一些常見的方法:噴氣清洗:使用壓縮空氣或氮氣等氣流,,通過噴射到FOUP內(nèi)部,,將顆粒物從FOUP表面吹走。噴氣清洗可以通過噴嘴,、噴氣等設(shè)備來實現(xiàn),,通常結(jié)合定向氣流和適當(dāng)?shù)臍饬魉俣龋杂行У厝コw粒物,。超聲波清洗:超聲波清洗是一種利用高頻聲波震動的方法,,可以將FOUP內(nèi)的顆粒物從表面剝離。超聲波的震動作用可以在微小的尺度上產(chǎn)生沖擊波,,從而破壞顆粒物與FOUP表面的附著力,,使其脫落。濕拭清洗:濕拭清洗使用濕潤的擦拭布或棉簽等工具,,直接擦拭FOUP的表面,,將顆粒物吸附到擦拭物上。這種方法適用于較大或較粘附的顆粒物,,可以通過多次擦拭和更換擦拭物來提高清潔效果,。靜電除塵:由于FOUP的材料通常具有一定的靜電特性,可以利用靜電除塵技術(shù)去除顆粒物。靜電除塵通常通過在FOUP內(nèi)部放置靜電除塵裝置,,利用靜電作用將顆粒物吸附到帶電的部件上,,然后移除這些帶電部件以去除顆粒物。過濾器和過濾介質(zhì):在FOUP的設(shè)計中,,可以使用過濾器和過濾介質(zhì)來阻止顆粒物進(jìn)入FOUP內(nèi)部,。這些過濾器通常位于FOUP的入口和出口處,以過濾空氣中的固體顆粒和其他污染物,,從而減少FOUP內(nèi)的顆粒物數(shù)量,。
我們的FOUP清洗機具有多項安全性能設(shè)計,以確保在使用過程中盡可能地降低風(fēng)險和保護操作人員的安全,。以下是我們清洗機的安全性能介紹:
DBPS動平衡保護,;
WirelessSensorfool-proofProtectionSystem;
無線傳感器保護系統(tǒng),;
LPLPS防漏液保護,;
LLPS液位防護;
Hightemperatureinterlockcontrolprotection高溫聯(lián)鎖控制防護,;
Interlockprotectionofelectriccabinet內(nèi)置門電控箱聯(lián)鎖防護,;
WindPressureProtection風(fēng)壓防護;
Cassette表面保護江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司的設(shè)備操作簡單,,效率高,,是你的生產(chǎn)利器!
產(chǎn)品介紹:FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機,,適用于所有類型的晶圓料盒(Smif Foup ,、Fosb 、Cassette ),可以實現(xiàn)良好的清洗和干燥效果,。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動,。由DI Water的表面張力、機械力進(jìn)行Particle清洗, 離心+熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成,,高效率,、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機,Casstte清洗機,FOSB清洗機,離心清洗機,晶圓清洗機,清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動清洗機,離心熱風(fēng)洪干清洗機。芯夢設(shè)備具有多種智能功能,,助你輕松應(yīng)對各種挑戰(zhàn),!甘肅花籃清洗機哪家便宜
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FC-H300清洗機應(yīng)用領(lǐng)域:主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)《晶圓制造,、集成電路、先進(jìn)封裝,,整個芯片濕法制程階段均適用),、化合物行業(yè),、片盒制造廠。
FC-H300清洗機適用于:Shippingboxes,如SEP,、Integris,、KakizakiDainichiFOSB、FOUP和其他品圓尺寸產(chǎn)品,,可定制清洗從50mm到300mm晶圓盒材料
FC-H300清洗機優(yōu)點:
超聲工藝設(shè)計,提供品圓盒(FOUP)清潔等級,;
清洗操作方便,,實現(xiàn)LOAD-UNLOAD全自動過程控制;
電子級的PP/PVDF/316L等材料緊湊型美觀設(shè)計低:
COO:
可靠性高:
優(yōu)點使用壽命:
標(biāo)準(zhǔn)10年:
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江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司專注于為襯底,、集成電路和先進(jìn)封裝等領(lǐng)域提供先進(jìn)濕法制程裝備及工藝的解決方案,。我們的主要產(chǎn)品涵蓋全自動晶圓級ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備、全自動晶圓盒清洗機,、全自動單片清洗機,、以及單片電鍍機等。芯夢始終秉持技術(shù)創(chuàng)新的理念,,不斷攻克創(chuàng)新產(chǎn)品技術(shù),,踐行在微納領(lǐng)域用先進(jìn)技術(shù)護家強國的企業(yè)使命。我們引以為傲的是國內(nèi)首臺全自動ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備,,該設(shè)備成功打破了國外的壟斷,,目前在國內(nèi)市場占有率超過80%,積累了數(shù)十個在國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的成功案例,。我們還自主研發(fā)了國內(nèi)首臺全自動晶圓盒清洗機,,成功打破了國外的壟斷,并已在國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)中得到廣泛應(yīng)用,。