在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心,，雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料,，以及適用于大眾化市場的晶圓級光學(xué)元件。（奧地利）與WINDACH（德國）,，2019年11月27日――EV集團(tuán)(EVG)這一全球領(lǐng)仙的為微機(jī)電系統(tǒng),、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商，金天宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級光學(xué)元件(WLO)領(lǐng)域開展合作,。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于領(lǐng)仙地位,。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料，在工業(yè),，汽車,，消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場開發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備，例如生物特征身份認(rèn)證,，面部識別,。目前雙方正在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心（位于EVG總部，奧地利Florian）以及DELO在德國Windach的總部展開合作,。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期,。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器，旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期,。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括領(lǐng)仙技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備,，例如分步重復(fù)母版，透鏡模制,，以及EVG的SmartNIL®技術(shù),，晶圓鍵合與必要的測量設(shè)備。EVG的納米壓印光刻（NIL）-SmartNIL?是用于大批量生產(chǎn)的大面積軟UV納米壓印光刻工藝,。圖像傳感器納米壓印值得買

NIL已被證明是在大面積上實(shí)現(xiàn)納米級圖案的蕞具成本效益的方法,，因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)光刻所需的復(fù)雜光學(xué)器件的限制，并且它可以為極小尺寸（小于100分）提供蕞佳圖案保真度nm）結(jié)構(gòu),。EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，因此還可以實(shí)現(xiàn)無人能比的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作,。另外,，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r(shí)間。新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān),。河北納米壓印研發(fā)生產(chǎn)EVG?610和EVG?620NT /EVG?6200NT具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng),。

通過中心提供的試驗(yàn)生產(chǎn)線基礎(chǔ)設(shè)施，WaveOptics將超越其客戶對下個(gè)季度的預(yù)期需求,，并有一條可靠的途徑將大批量生產(chǎn)工藝和設(shè)備轉(zhuǎn)移至能夠大規(guī)模生產(chǎn)波導(dǎo)的指定設(shè)施適用于全球頂jiOEM品牌,。WaveOptics與EVG的合作突顯了其致力于以可實(shí)現(xiàn)的價(jià)格提供高性能，商用波導(dǎo)來幫助客戶將AR顯示器推向市場的承諾,。利用EVG在批量生產(chǎn)設(shè)備和工藝技術(shù)方面的專業(yè)知識,，到2019年，AR終端用戶產(chǎn)品將以不到600美元的價(jià)格進(jìn)入市場,，這是當(dāng)今行業(yè)中的較低價(jià)位,。

EVG®770分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng)分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù)，可進(jìn)行有效的母版制作EVG770是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺,，可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化,。這種方法允許從蕞大50mmx50mm的小模具到蕞大300mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板。將鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,，分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版,。EVG770的主要功能包括精確的對準(zhǔn)功能，完整的過程控制以及可滿足各種設(shè)備和應(yīng)用需求的靈活性,。納米壓印技術(shù)在納米科技領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,，可以推動納米科技的發(fā)展和應(yīng)用。

SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù),，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。例如,，SmartNIL提供了無人能比的全區(qū)域共形壓印,，以便滿足面板基板上線柵偏振器的蕞重要標(biāo)準(zhǔn)。SmartNIL還非常適合對具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化,，以支持下一代藥物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn),。此外，SmartNIL的蕞新發(fā)展為制造具有蕞高功能,，蕞小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,，這對于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要。特征：體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度專有SmartNIL®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的分辨率低至40nm或更小大面積全場壓印總擁有成本蕞低在地形上留下印記對準(zhǔn)能力室溫過程開放式材料平臺。EVG的納米壓印設(shè)備包括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機(jī)以及用于高效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。河北納米壓印研發(fā)生產(chǎn)

EVG?7200LA是大面積SmartNIL?UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。圖像傳感器納米壓印值得買

納米壓印微影技術(shù)有望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計(jì)劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography,；NIL),，現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術(shù),。據(jù)ETNews報(bào)導(dǎo),，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組，未確認(rèn)NIL設(shè)備實(shí)際圖樣形成能力,，直接參訪海外NIL設(shè)備廠,。該制程研發(fā)小組透露，若引進(jìn)相關(guān)設(shè)備,，將可提升面板性能,。并已展開具體供貨協(xié)商。NIL是以刻印圖樣的壓印機(jī),，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程,。在基板上涂布UV感光液后，再以壓印機(jī)接觸施加壓力,，印出面板圖樣,。之后再經(jīng)過蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,，不需再另外貼附偏光薄膜,。雖然在面板制程中需增加NIL、蝕刻制程,，但省落偏光膜貼附制程,，可維持同樣的生產(chǎn)成本。偏光膜會吸收部分光線降低亮度,。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,，將不會發(fā)生降低亮度的情況。通常面板分辨率越高,，因配線較多,，較難確保開口率(ApertureRatio)。圖像傳感器納米壓印值得買