如何正確使用輪廓儀準(zhǔn)備工作1.測量前準(zhǔn)備,。2.開啟電腦,、打開機(jī)器電源開關(guān),、檢查機(jī)器啟動是否正常。3.擦凈工件被測表面,。測量1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析，標(biāo)出結(jié)果,，并保存,、打印,。輪廓的角度處理:角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn),、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離,、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離,、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理：直線度、凸度,、LG凸度,、對數(shù)曲線每個共焦圖像是通過樣品形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,。重慶輪廓儀國內(nèi)用戶
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測量范圍蕞大可達(dá)10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時,，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測,，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個面的粗糙度參數(shù)；4.測量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸,？如果需要了解更多，還請?jiān)L問岱美儀器的官網(wǎng),。福建半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀具備異常報(bào)警,，急停等功能，報(bào)警信息可儲存,。
輪廓儀的技術(shù)原理被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉移相法(PSI)高度和干涉相位f=(2p/l)2h形貌高度:<120nm精度:<1nmRMS重復(fù)性:0.01nm垂直掃描法(VSI+CSI)精度：?/1000干涉信號~光程差位置形貌高度:nm-mm,精度:>2nm干涉測量技術(shù)：快速靈活,、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響以下來自網(wǎng)絡(luò)：輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范,。
2）共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多真孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機(jī),。LED光源通過多真孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。反射光通過MPD的真孔減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),，但是在共焦圖像中，通過多真孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率,。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征。
輪廓儀對精密加工的意義現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,，在精密加工領(lǐng)域同樣如此,，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關(guān),。例如在光學(xué)玻璃,、集成電路、汽車零部件,、機(jī)器人和新器件,、航空航天材料、國fang jun工設(shè)備等領(lǐng)域,，都需要對加工的成品進(jìn)行檢測,，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù)，其中包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度,、面粗糙度等二維、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用：支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC,。北京輪廓儀代理商
NanoX-8000主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm,。重慶輪廓儀國內(nèi)用戶
表面三維輪廓儀對精密加工的作用：一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù),，積大提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，蕞終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。二,、提高效率：智能化檢測,，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點(diǎn),，積大提高加工效率。三,、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供權(quán)面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。四,、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性，將測量誤差降低到亞納米級別,。重慶輪廓儀國內(nèi)用戶