無論是大批量還是小規(guī)模生產(chǎn)定制產(chǎn)品，都需要開發(fā)新一代的模塊化,、知識(shí)密集的,、可升級(jí)的和可快速配置的生產(chǎn)系統(tǒng)。而這將用到那些新近涌現(xiàn)出來的微納技術(shù)研究成果以及新的工業(yè)生產(chǎn)理論體系,。給出了微納制造系統(tǒng)與平臺(tái)的發(fā)展前景,。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺(tái)的發(fā)展前景包括以下幾種：（1）微納制造系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、建模和仿真,；（2）智能的,、可升級(jí)的和適應(yīng)性強(qiáng)的微納制造系統(tǒng)（工藝、設(shè)備和工具集成）；（3）新型靈活的,、模塊化的和網(wǎng)絡(luò)化的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),，以構(gòu)筑基于制造的知識(shí)。微納加工可以實(shí)現(xiàn)對(duì)微納材料的合成和改性,。泉州微納加工應(yīng)用
納米壓印技術(shù)是一種新型的微納加工技術(shù),。該技術(shù)通過機(jī)械轉(zhuǎn)移的手段，達(dá)到了超高的分辨率,，有望在未來取代傳統(tǒng)光刻技術(shù),，成為微電子、材料領(lǐng)域的重要加工手段,。納米壓印技術(shù)已經(jīng)有了許多方面的進(jìn)展,。起初的納米壓印技術(shù)是使用熱固性材料作為轉(zhuǎn)印介質(zhì)填充在模板與待加工材料之間，轉(zhuǎn)移時(shí)需要加高壓并加熱來使其固化,。后來人們使用光刻膠代替熱固性材料,，采用注入式代替壓印式加工，避免了高壓和加熱對(duì)加工器件的損壞,，也有效防止了氣泡對(duì)加工精度的影響,。嘉興半導(dǎo)體微納加工微納加工可以實(shí)現(xiàn)對(duì)微小尺寸物體的加工和制造。
納米壓印技術(shù)已經(jīng)有了許多方面的進(jìn)展,。起初的納米壓印技術(shù)是使用熱固性材料作為轉(zhuǎn)印介質(zhì)填充在模板與待加工材料之間,，轉(zhuǎn)移時(shí)需要加高壓并加熱來使其固化。后來人們使用光刻膠代替熱固性材料,，采用注入式代替壓印式加工,，避免了高壓和加熱對(duì)加工器件的損壞，也有效防止了氣泡對(duì)加工精度的影響,。而模板的選擇也更加多樣化。原來的剛性模板雖然能獲得較高的加工精度,，但只能應(yīng)用于平面加工,。研究者們提出了使用彈性模量較高的PDMS作為模板材料，開發(fā)了軟壓印技術(shù),。這種柔性材料制成的模板能夠貼合不同形貌的表面,，使得加工不再局限于平面，對(duì)顆粒,、褶皺等影響加工質(zhì)量的因素也有了更好的容忍度,。
目前微納制造領(lǐng)域較常用的一種微細(xì)加工技術(shù)是LIGA。這項(xiàng)技術(shù)由于可加工尺寸小,、精度高,，適合加工半導(dǎo)體材料，因而在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中得到普遍的應(yīng)用，其較基礎(chǔ)的中心技術(shù)是光刻,，即曝光和刻蝕工藝,。隨著LIGA技術(shù)的發(fā)展，人們開發(fā)出了比較多種不同的曝光,、刻蝕工藝,，以滿足不同精度尺寸、生產(chǎn)效率等的需求,。LIGA技術(shù)經(jīng)過多年的發(fā)展,，工藝已經(jīng)相當(dāng)成熟，但是這項(xiàng)技術(shù)的基本原理決定了它必然會(huì)存在的一些缺陷,，比如工藝過程復(fù)雜,、制備環(huán)境要求高、設(shè)備投入大,、生產(chǎn)成本高等,。微納加工可以實(shí)現(xiàn)對(duì)微納系統(tǒng)的高度靈活和可擴(kuò)展。
在微納加工過程中,，薄膜的組成方法主要為物理沉積,、化學(xué)沉積和混合方法沉積。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法,，主要用于沉積金屬單質(zhì)薄膜、合金薄膜,、化合物等,。熱蒸發(fā)是在高真空下，利用電阻加熱至材料的熔化溫度,，使其蒸發(fā)至基底表面形成薄膜,，而電子束蒸發(fā)為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空,，在電場(chǎng)的作用下,，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發(fā)生濺射并沉積于基底,；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高,、致密性好，熱蒸發(fā)主要用于沉積低熔點(diǎn)金屬薄膜或者厚膜,；化學(xué)氣相沉積（CVD）是典型的化學(xué)方法而等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）是物理與化學(xué)相結(jié)合的混合方法,，CVD和PECVD主要用于生長(zhǎng)氮化硅、氧化硅等介質(zhì)膜,。微納加工可以實(shí)現(xiàn)對(duì)微納結(jié)構(gòu)的多功能化設(shè)計(jì)和制造,。嘉興半導(dǎo)體微納加工
微納加工設(shè)備主要有：光刻,、刻蝕、鍍膜,、濕法腐蝕,、絕緣層鍍膜等！泉州微納加工應(yīng)用
什么是微納加工,？微納加工的目標(biāo)是在微米和納米尺度上對(duì)材料進(jìn)行精確的加工和制造,，以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料性質(zhì)和功能的精確控制。微納加工技術(shù)可以用于制造微納器件,、納米材料,、納米結(jié)構(gòu)等，廣泛應(yīng)用于電子,、光電,、生物醫(yī)學(xué)、能源等領(lǐng)域,。微納加工技術(shù)的發(fā)展離不開微納加工設(shè)備的進(jìn)步,。常見的微納加工設(shè)備包括光刻機(jī)、電子束曝光機(jī),、離子束曝光機(jī),、掃描探針顯微鏡等。這些設(shè)備能夠在微米和納米尺度上進(jìn)行高精度的加工和制造,，為微納加工提供了重要的工具,。泉州微納加工應(yīng)用